天眼查显示，授权通知布告号为CN115194640B，授权通知布告日为2024年10月18日，申请日为2022年8月15日。

　　本发现公开了一种化学机械抛光系统及抛光方式，所述抛光系统包罗：前置单位；抛光单位；清洗单位，设置于前置单位取抛光单位之间；此中，所述清洗单位包罗第一清洗单位和第二清洗单位，所述晶圆后处置安拆环绕所述晶圆传输机械手设置。